相川 慎也

工学部 電気電子工学科教授

  • E-Mail: aikawacc.kogakuin.ac.jp

経歴

  • 2024年04月 - 現在
    工学院大学, 工学部 電気電子工学科, 教授
  • 2014年04月 - 現在
    物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点 客員研究員
  • 2019年04月 - 2024年03月
    工学院大学 工学部 電気電子工学科 准教授
  • 2018年04月 - 2019年03月
    工学院大学 工学部 電気電子工学科 特任准教授
  • 2016年04月 - 2018年03月
    工学院大学 総合研究所 准教授
  • 2014年04月 - 2016年03月
    工学院大学 総合研究所 助教
  • 2012年09月 - 2014年03月
    物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点 ポスドク研究員
  • 2012年04月 - 2012年08月
    東京大学大学院工学系研究科 特任研究員
  • 2009年04月 - 2012年03月
    日本学術振興会特別研究員(DC1)

学歴

  • 2009年04月 - 2012年03月
    東京理科大学, 工学研究科, 電気工学専攻
  • 2007年04月 - 2009年03月
    東京理科大学, 工学研究科, 電気工学専攻
  • 2003年04月 - 2007年03月
    東京理科大学, 工学部第二部, 電気工学科

学位

  • 2007年03月
    学士(工学), 東京理科大学
  • 2009年03月
    修士(工学), 東京理科大学
  • 2012年03月
    博士(工学), 東京理科大学

所属学協会

  • 2018年11月 - 現在
    電気学会
  • 2008年01月 - 現在
    応用物理学会

ID各種

  • ID各種

    研究者番号:40637899
    researchmap会員ID:B000236702
    J-Global ID:201401006817454654

研究分野

  • ナノテク・材料, ナノマイクロシステム, マイクロ・ナノデバイス
  • ナノテク・材料, 薄膜、表面界面物性, 薄膜・表面界面物性
  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学), 電子デバイス、電子機器, 電子デバイス・電子機器
  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学), 熱工学

研究キーワード

  • 表面・界面物性
  • フレキシブルトランジスタ
  • ナノカーボン材料
  • 薄膜エレクトロニクス
  • 酸化物半導体

書籍等出版物

論文

MISC

  • Effect of In2O3 Channel Thickness in TFT Gas Sensor for CO2 Sensing Characteristics
    2023年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Depth profiling of SnO2:N thin films fabricated by RF magnetron sputtering in N2 atmosphere
    2023年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Reduction of remaining hysteresis in unannealed B-doped In2O3 TFTs by O2 plasma
    2023年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • La concentration dependence of CO2 sensitivity in solution-processed La-doped In2O3 thin-film transistors
    2023年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Co-doping of hydrogen and boron in In2O3 toward highly flexible and transparent conducting oxide film
    2023年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Indium oxide-based thin film transistor with high CO2 sensitive (400) plane
    2022年
    責任著者
  • Room-temperature processable highly amorphous transparent B-doped In2O3 for use as a flexible conductive film
    2022年
    責任著者
  • Nitrogen incorporation in SnO2 matrix for passivation of oxygen vacancy and hole generation
    2022年
    責任著者
  • Comparative study of room-temperature deposited ITO and B-doped In2O3 on PET for flexible transparent electrode application
    2022年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Optimization of N2 concentration in Ar/N2 sputtering deposition for p-type N-doped SnOx thin-film
    2022年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Experimental investigation of the local bonding states of nitrogen-doped SnOx thin-film
    2022年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Crystal-plane dependence of CO2 sensitivity on In2O3-based thin-film transistors
    2022年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Post-deposition N2 annealing of n-type SnOx thin-films for carrier-type conversion
    2021年
    責任著者
  • Role of Ca in CaF2 incorporated In2O3 transparent conductive films
    2021年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Improvement of noble metal-free ReRAM characteristics by insertion of thin SiOx layer at the ZrOx/electrode interfaces
    2021年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Demonstration of flexible transparent conductive film using B-doped In2O3
    2021年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Charge transfer and conduction type conversion in n-type SnO2 thin films by nitrogen annealing
    2021年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Comparative characterization of Si Schottky solar cells using B‐doped In2O3 and ITO transparent electrodes
    2020年, [査読有り]
    筆頭著者, 責任著者
  • Investigation of CaF2 doping on electrical and optical properties of In2O3 transparent conductive film
    2020年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • Influence of SiOx interlayer on electrical properties of noble metal-free ZrOx-based resistive switching memory devices
    2020年, [査読有り]
    ラスト(シニア)オーサー, 責任著者
  • ヘテロ界面での自己酸化還元反応に基づくp型酸化物半導体へのキャリア注入制御
    相川 慎也
    日本板硝子材料工学助成会 成果報告書38, 2020年
    筆頭著者, 責任著者
  • Investigation of measurement environmental sensitivity in amorphous indium oxide-based thin-film transistors
    2019年, [査読有り]
  • Hydrophobic Fluoropolymer Interlayer between In2O3 Semiconductor and SiO2 Gate Insulator for Improvement of Thin-Film Transistor Performance
    2019年, [査読有り]
  • SnOx 薄膜の伝導型制御に向けたスパッタ成膜条件の検討
    相川 慎也
    H29年度NIMS微細加工PF利用報告書, 2018年
  • SnOx 薄膜へのキャリア注入制御に向けたショットキーダイオード試作
    相川 慎也
    H29年度NIMS微細加工PF利用報告書, 2018年
  • 酸化物半導体/絶縁膜界面での加熱不要な局所電荷ドーピング
    相川 慎也
    東電記念財団 平成29年度 研究助成(一般研究)完了報告書, 2018年
    筆頭著者, 責任著者
  • 低温プロセスで作製した酸化インジウム系薄膜トランジスタの安定化に向けた高結合解離エネルギードーパントの導入
    相川 慎也
    ANNUAL REPORT OF THE MURATA SCIENCE FOUNDATION, 2017年
    筆頭著者, 責任著者
  • 連続形成積層半導体チャネルを用いた酸化薄膜トランジスタの電気特性バラつき制御
    相川 慎也
    2014年度研究助成金受給者 研究報告集, 2016年
    筆頭著者, 責任著者
  • Electrical and Structural Characterization of Anodically Etched GaAs Nanowires Towards Functional Electronic Devices
    2015年
  • Influence of electrical properties for IGZO TFT with Al2O3 gate insulators by PE-ALD method
    2014年
  • 超フレキシブルで透明なカーボンナノチューブトランジスタ
    相川 慎也,塚越 一仁,丸山 茂夫
    O Plus E, 2013年
  • Influence of Polymer Coating on Device Properties of Carbon Nanotube Field-Effect Transistors
    2012年
  • Thermal Conductivity of Single-Walled Carbon Nanotube Suspensions in Ethylene Glycol: Experimental Results and Theoretical Limits
    2012年
  • 透明なカーボンナノチューブフレキシブルトランジスタ
    相川 慎也,エリック エイナルソン,ティーラポン トゥラキットセーリー,千足 昇平,西川 英一,丸山 茂夫
    東京大学大規模集積システム設計教育研究センター H23年度ナノテクネット支援報告書, 2012年
  • As-Grown単層CNTを用いた薄膜トランジスタ作製
    北畠 旭,相川 慎也,西村 英徳,エリック エイナルソン,千足 昇平,丸山 茂夫
    東京大学大規模集積システム設計教育研究センター H23年度ナノテクネット支援報告書, 2012年
  • One-Step Encapsulation of Metal Particle with High-Melting into Carbon Nanotubes by Pulsed Arc Discharge in Water
    2011年
  • Simple Synthesis Method for Carbon Nanotubes from Aromatic Compounds by Liquid-Phase Arc Plasma
    2011年
  • Fabrication of flexible thin film transistors using single-walled carbon nanotubes and graphene
    2011年
  • Extremely Flexible All-Carbon Nanotube Field-Effect Transistors Without Device Degradation
    2011年
  • Ambipolar Conversion of Polymer-Coated All Single-Walled Carbon Nanotube Field-Effect Transistors
    2011年
  • Carbon Nanotubes Synthesis in Liquid Xylene by Low-frequency Pulsed Arc Discharge Using Copper Electrodes: An Effect of Current Waveform
    2011年
  • As-grownの単層カーボンナノチューブを用いた電界効果トランジスタアレイの簡易作製法
    相川 慎也,エリック エイナルソン,井ノ上 泰輝,項 榮,千足 昇平,塩見 淳一郎,西川 英一,丸山 茂夫
    東京大学大規模集積システム設計教育研究センター H22年度ナノテクネット支援報告書, 2011年
  • All-SWNT電界効果トランジスタの容易な作製
    相川 慎也,項 榮,エリック エイナルソン,千足 昇平,塩見 淳一郎,西川 英一,丸山 茂夫
    東京大学大規模集積システム設計教育研究センター H22年度ナノテクネット支援報告書, 2011年
  • Characterization of field-effect transistors using high-quality as-grown SWNTs from alcohol CVD
    2010年
  • Diameter controlled CVD synthesis of single-walled carbon nanotubes
    2010年
  • Simple Fabrication Technique for an Array of Field-effect Transistors Using High-quality as-grown Single-walled Carbon Nanotubes from Dip-coated Catalyst by Substrate Surface Modification
    2010年
  • Carbon nanotubes synthesis in liquid xylene by low-frequency pulsed arc discharge using metal electrodes: An effect of inrush current
    2010年
  • 単層カーボンナノチューブの直径制御合成
    トゥラキットセーリー ティーラポン,エイナルソン エリック,項 榮,相川 慎也,千足 昇平,塩見 淳一郎,丸山 茂夫
    東京大学大規模集積システム設計教育研究センター H21年度ナノテクネット支援報告書, 2010年
  • Graphitization of an Amorphous Carbon Film under Electron Beam Irradiation Catalysed by Metal Particles
    2009年
  • Carbon Nanotubes Synthesis in Water by Arc Discharge Using Metal Electrodes
    2009年
  • Carbon nanomaterial synthesis from o-xylene using arc discharge method with copper electrodes
    2009年

講演・口頭発表等

  • Investigation of Annealing treatment for Improving Subthreshold in Amorphous p-type TeOx-based TFT
    K. Ishi, T. Kobayashi, D. Watanabe, S. Yamadera, S. Aikawa
    19th International Thin-Film Transistor Conference (ITC 2025), 2025年03月24日
  • 低温でCO2検知可能なIn2O3薄膜トランジスタガスセンサー
    相川 慎也,車 振赫
    令和7年電気学会全国大会, 2025年03月18日, [招待有り]
  • InCl3を用いたMist CVD法極薄膜In2O3成膜
    石川 諒,林 佑哉,相川 慎也,尾沼 猛儀,本田 徹,山口 智広
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月16日
  • 結晶構造に着目したIn2O3系透明導電膜の柔軟性劣化
    木菱 完太,山寺 真理,小林 翔,矢崎 結也,相川 慎也
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月15日
  • 低温溶液プロセスによるp型SnO薄膜の作製と評価
    曹 博聞,小林 亮太,相川 慎也
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月15日
  • スパッタ条件調整による極性In2O3(100)面の優先成長
    海老澤 雄一朗,小林 亮太,車 振赫,相川 慎也
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月15日
  • p型TaドープSnO薄膜の作製および薄膜トランジスタ応用
    辛 佳和,山寺 真理,高橋 司,相川 慎也
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月15日
  • 室温プロセスでバイアスストレス安定性の高いアモルファスIn2O3系TFT
    山寺 真理,木菱 完太,小林 亮太,石井 和歩,相川 慎也
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月15日
  • SnO2ターゲットを用いて還元スパッタ成膜したp型SnOの表面観察
    小林 翔,木菱 完太,辛 佳和,相川 慎也
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月15日
  • ITO透明導電膜によるSiC/SiO2界面単一光子源の発光強度制御
    武藤 隆太,針井 一哉,清水 麻希,木菱 完太,矢崎 祐也,相川 慎也,大島 武,土方 泰斗
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月14日
  • B添加In2O3フレキシブル透明導電膜におけるフレキシブル性の基板依存
    矢崎 結也,木菱 完太,辛 佳和,相川 慎也
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月14日
  • Cu含有PVAフィルムを用いた抵抗変化素子の作製と特性評価
    岩澤 侑司,牧島 唯人,中村 光我,小林 亮太,永井 裕己,相川 慎也
    2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会, 2025年03月14日
  • Strong amorphization in In2O3-based flexible transparent conductive films by hydrogen incorporation and higher sputtering pressure
    K. Kibishi, S. Yamadera, T. Kobayashi, I. Takano, S. Aikawa
    International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2024 (ISSM 2024), 2024年12月10日
  • UV exposure in an oxygen atmosphere at room temperature as a new method for improvement of amorphous oxide TFT characteristics
    S. Yamadera, K. Kibishi, S. Aikawa
    International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2024 (ISSM 2024), 2024年12月10日
  • Fabrication of SnSO4 transparent thin-films using simultaneous oxidation and sulfurization annealing
    K. Moriya, D. Watanabe, T. Ogawa, T. Yamaguchi, S. Aikawa
    International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2024 (ISSM 2024), 2024年12月10日
  • Optimization of post-deposition annealing conditions for p-type SnO fabrication by low-concentration hydrogen sputtering using SnO2 sputtering target
    T. Kobayashi, K. Kibishi, S. Aikawa
    International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2024 (ISSM 2024), 2024年12月10日
  • アモルファスp型TeOxTFTの特性向上に向けたアニール処理の検討
    石井 和歩,小林 翔,守屋 賢人,山寺 真理,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2024年11月29日
  • 高温アニールに代わるアモルファス酸化物TFTへの室温UV照射処理
    山寺 真理,木菱 完太,小林 亮太,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2024年11月29日
  • CuSO4とPVAの混合物を用いた抵抗変化素子の作製と評価
    岩澤 侑司,小林 亮太,永井 裕己,相川 槙也
    電気学会 電子材料研究会, 2024年11月29日
  • 堅牢なSnO2ターゲットを用いた還元雰囲気スパッタリングと成膜後アニーリングによるSnO製作の最適化
    小林 翔,木菱 完太,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2024年11月29日
  • 溶液プロセスp型SnO薄膜トランジスタに向けた溶液調整の検討および薄膜作製
    曹 博聞,小林 亮太,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2024年11月28日
  • Ar/H2スパッタ成膜したIn2O3系透明導電膜の屈曲時抵抗変化と成膜時圧力の関係理解
    木菱 完太,山寺 真理,小林 翔,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2024年11月28日
  • ITO透明導電膜を用いたSiC/SiO2界面単一光子源の電界制御
    武藤 隆太,針井 一哉,清水 麻希,木菱 完太,相川 慎也,大島 武,土方 泰斗
    先進パワー半導体分科会 第11回講演会, 2024年11月25日
  • Toward thin In2O3 film growth on SiO2/Si substrate by Mist CVD method
    R. Ishikawa, T. Yamamoto, Y. Hayashi, S. Aikawa, T. Onuma, T. Honda, T. Yamaguchi
    The 23rd International Symposium on Advanced Technology (ISAT-23), 2024年11月22日
  • Fabrication of SnSO4 transparent thin-films using simultaneous oxidation and sulfurization annealing
    K. Moriya, D. Watanabe, T. Ogawa, T. Yamaguchi, S. Aikawa
    The 23rd International Symposium on Advanced Technology (ISAT-23), 2024年11月22日
  • Electrical and Optical Properties of Ti-doped ZnO Thin Films
    N. Utsu, S. Aikawa, I. Takano
    The 23rd International Symposium on Advanced Technology (ISAT-23), 2024年11月22日
  • α-In2O3のMistCVD結晶成長とMOSFET製作時におけるチャネル層膜厚調整方法の検討
    林 佑哉,田口 義士,山寺 真理,山本 拓実,相川 慎也,尾沼 猛儀,本田 徹,山口 智広
    第53回結晶成長国内会議, 2024年11月18日
  • Improvement of hysteresis in non-annealed IBO TFTs by room-temperature UV exposure in oxygen atmosphere
    S. Yamadera, K. Kibishi, S. Aikawa
    37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024), 2024年11月15日
  • Effect of oxygen pressure on crystal orientation and bonding states of SnSO4 thin films
    K. Moriya, D. Watanabe, T. Ogawa, T. Yamaguchi, S. Aikawa
    37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024), 2024年11月15日
  • Fabrication of p-type SnO thin film using robust SnO2 target by sputtering and annealing in low-concentration reducing H2 atmosphere
    T. Kobayashi, K. Kibishi, S. Aikawa
    37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024), 2024年11月15日
  • Improvement of amorphous nature of In2O3-based transparent conductive films by H-doping
    K. Kibishi, S. Yamadera, T. Kobayashi, I. Takano, S. Aikawa
    37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024), 2024年11月15日
  • Evaluation of Optical Properties of Ti-doped ZnO Transparent Conductive Thin Films
    N. Utsu, S. Aikawa, I. Takano
    The 10th International Symposium on Surface Science (ISSS-10), 2024年10月21日
  • Dependence of Hydrochloric Acid Concentration Adding to Source Solution in Mist CVD Growth of In2O3 Films on Amorphous SiO2
    R. Ishikawa, T. Yamamoto, Y. Hayashi, S. Aikawa, T. Onuma, T. Honda, T. Yamaguchi
    第43回電子材料シンポジウム, 2024年10月03日
  • 硫化アニールによるSnS薄膜作製:硫黄原料粉末仕込み量による高純度化の検討
    渡邉 大輝,守屋 賢人,相川 慎也
    2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月20日
  • 硫黄蒸気アニールにより作製したSnSO4の結合状態評価
    守屋 賢人,渡邉 大輝,小川 大樹,山口 智広,相川 慎也
    2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月20日
  • 還元雰囲気スパッタリングと成膜後アニーリングによるSnO2ターゲットからのSnO製作最適化
    小林 翔,木菱 完太,相川 慎也
    2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月20日
  • α-Al2O3上及びアモルファスSiO2上へのIn2O3膜Mist CVD成長における原料溶液添加塩酸濃度依存性
    石川 諒,山本 拓実,林 佑哉,相川 慎也,尾沼 猛儀,本田 徹,山口 智広
    2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月19日
  • アニーリングによるTiドープZnO透明導電薄膜の特性評価
    宇津 直哉,相川 慎也,鷹野 一朗
    2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月19日
  • CO2センサー応用に向けた溶液プロセスLaドープIn2O3 TFTのバイアスストレス評価
    小林 亮太,曹 博聞,相川 慎也
    2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月18日
  • 酸素雰囲気下での室温UV照射によるIBO TFTのヒステリシス改善
    山寺 真理,木菱 完太,相川 慎也
    2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月18日
  • HドーピングによるIn2O3系透明導電膜の弾性率低下
    木菱 完太,山寺 真理,小林 翔,鷹野 一朗,相川 慎也
    2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月18日
  • Cuイオン含有PVAを抵抗変化層に用いたReRAMの溶液濃度依存性
    岩澤 侑司,小林 亮太,永井 裕己,相川 槙也
    2024年 第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月16日
  • Mist CVD法サファイア基板上α-Ga2O3, β-Ga2O3薄膜の電気的特性基礎検討
    山口 勇豪,杉谷 諒,阿部 翔平,山田 琴乃,相川 慎也,尾沼 猛儀,本田 徹,山口 智広
    末松カンファレンス, 2024年08月31日
  • Formation of silica films with low dielectric constant using molecular precursor method
    Y. Murakami, K. Moriya, S. Aikawa, M. Sato, H. Nagai
    The 10th International Symposium on Functional Materials (ISFM2024), 2024年08月04日
  • Enhancement of CO2 Gas Sensitivity in In2O3 Thin Film Transistor with a Polar Surface
    A. Nodera; S. Aikawa
    18th International Thin-Film Transistor Conference (ITC 2024), 2024年03月28日
  • 低蛍光強度の透明導電膜を用いたNVセンタの電荷制御
    大石 竜嗣,木菱 完太,土方 泰斗,波多野 睦子,牧野 俊晴,相川 慎也,清水 麻希
    2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月25日
  • 金属Snを硫化アニールし作製したSnSO4の評価:硫化中の酸素圧力依存
    守屋 賢人,渡邉 大輝,川口 拓真,相川 慎也
    2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月24日
  • SnO2スパッタターゲットを用いたSnO製作:Ar/H2および真空中ポストアニールの比較
    小林 翔,川口 拓真,木菱 完太,相川 慎也
    2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月24日
  • 金属Sn薄膜の硫化時圧力に依存するSnS表面形態の評価
    渡邉 大輝,守屋 賢人,相川 慎也
    2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月24日
  • SnO層間へのNH3分子インターカレーションの試み
    辛 佳和,石田 哲也,小林 翔,相川 慎也
    2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月24日
  • RFマグネトロンスパッタ法で作製したSnO2:N薄膜のバルク内酸素空孔低減及びバルク内組成の評価
    川口 拓真,大石 竜嗣,清水 麻希,土方 泰斗,相川 慎也
    2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月24日
  • PVA抵抗変化メモリにおけるNaCl添加の作用
    岩澤 侑司,大沢 遼輝,Le Duc Huy,相川 慎也
    2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月24日
  • In2O3系透明導電膜へのHドーピングによる柔軟性劣化機構
    木菱 完太,山寺 真理,小林 翔,野寺 歩,鷹野 一朗,相川 慎也
    2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月24日
  • 低温Deep UV照射処理されたB-doped In2O3 TFT
    山寺 真理,木菱 完太,相川 慎也
    2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月24日
  • p型アモルファスTaSnOの電気特性に及ぼすスパッタ成膜条件探索
    石田 哲也,柿澤 立樹,小林 翔,川口 拓真,曹 晨亭,辛 佳和,鷹野 一朗,相川 慎也
    表面技術協会 第149回講演大会, 2024年03月05日
  • スパッタ成膜したスズ酸化物と電極間の界面抵抗評価
    林 遥大,川口 拓真,小林 翔,山寺 真理,石田 哲也,曹 晨亭,相川 慎也
    表面技術協会 第149回講演大会, 2024年03月05日
  • Toward CO2 sensors based on In2O3 thin-film transistors
    A. Nodera; S. Aikawa
    International Symposium of the Vacuum Society of the Philippines (ISVSP), 2024年01月18日, [招待有り]
  • Fabrication of Tin Oxide/nitrogen-doped Titanium Dioxide Heterojunction Thin Films
    M. Martinez; M. Vasquez Jr.; T. Yamaguchi; S. Aikawa
    International Symposium of the Vacuum Society of the Philippines (ISVSP), 2024年01月18日
  • Investigation of Sulfurization Temperature of Metal Sn Thin-Film for High-Quality SnS Synthesis
    D. Watanabe; K. Moriya; S. Aikawa
    MRM2023/IUMRS-ICA2023, 2023年12月15日
  • Improvement of hysteresis on as-deposited B-doped In2O3 TFTs under O2 plasma exposure
    S. Yamadera; K. Kibishi; S. Aikawa
    MRM2023/IUMRS-ICA2023, 2023年12月13日
  • Electrical property improvement of Pt-free TiOx-based ReRAM devices using ultrathin SiOx interlayers
    H. Osawa; Y. Iwasawa; S. Aikawa
    MRM2023/IUMRS-ICA2023, 2023年12月12日
  • Correlation between CO2 sensitivity and Zn concentration in InZnO thin-film transistors
    A. Nodera; R. Kobayashi; T. Kobayashi; S. Aikawa
    MRM2023/IUMRS-ICA2023, 2023年12月12日
  • Fabrication of SnO Thin Film by Sputtering in Low-Concentration Reducing H2 Atmosphere
    T. Kobayashi; T. Kawaguchi; K. Kibishi; S. Aikawa
    MRM2023/IUMRS-ICA2023, 2023年12月12日
  • N2雰囲気中RFマグネトロンスパッタリングで作製したSnO2:N薄膜の特性評価
    川口 拓真,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2023年11月23日
  • 溶液プロセスで作製したLaドープIn2O3薄膜トランジスタのCO2センシング特性
    小林 亮太,野寺 歩夢,永井 裕己,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2023年11月23日
  • 硫黄蒸気輸送アニールを用いた金属Sn薄膜の硫化とその評価
    渡邉 大輝,守屋 賢人,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2023年11月23日
  • 低濃度水素雰囲気中スパッタとアニールを用いたSnO2ターゲットからのSnO製作
    小林 翔,木菱 完太,川口 拓真,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2023年11月23日
  • InZnO TFT CO2ガスセンサーにおけるZn濃度と膜厚の影響
    野寺 歩夢,小林 亮太,小林 翔,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2023年11月22日
  • B含有In2O3へ水素ドーピングによる機械的柔軟性への効果
    木菱 完太,山寺 真理,小林 翔,鷹野 一朗,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2023年11月22日
  • Effect of In2O3 Channel Thickness in TFT Gas Sensor for CO2 Sensing Characteristics
    A. Nodera; R. Kobayashi; S. Yamadera; K. Kibishi; T. Kobayashi; S. Aikawa
    36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023), 2023年11月17日
  • Depth profiling of SnO2:N thin films fabricated by RF magnetron sputtering in N2 atmosphere
    T. Kawaguchi; T. Kobayashi; S. Aikawa
    36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023), 2023年11月17日
  • Reduction of remaining hysteresis in unannealed B-doped In2O3 TFTs by O2 plasma
    S. Yamadera; K. Kibishi; A. Nodera; S. Aikawa
    36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023), 2023年11月17日
  • La concentration dependence of CO2 sensitivity in solution-processed La-doped In2O3 thin-film transistors
    R. Kobayashi; A. Nodera; S. Aikawa
    36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023), 2023年11月17日
  • Co-doping of hydrogen and boron in In2O3 toward highly flexible and transparent conducting oxide film
    K. Kibishi; S. Yamadera; T. Kobayashi; I. Takano; S. Aikawa
    36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023), 2023年11月17日
  • Sn-doped α-Ga2O3 Films Grown Using Sn Source Solutions with Different Aging Times and Their Electrical Properties
    Ko. Yamada; T. Yamamoto; R. Yamada; Ka. Yamada; H. Nagai; S. Aikawa; T. Onuma; T. Honda; T. Yamaguchi
    The 22nd International Symposium on Advanced Technology (ISAT-22), 2023年10月19日
  • Fabrication of top-down and bottom-up MOSFET using α-In2O3 films grown by Mist CVD
    Y. Hayashi; A. Taguchi; S. Yamadera; T. Yamamoto; S. Aikawa; T. Onuma; H. Honda; T. Yamaguchi
    The 22nd International Symposium on Advanced Technology (ISAT-22), 2023年10月19日
  • SiOx層挿入によるTiOx系ReRAMの動作安定化
    大沢 遼輝,岩澤 侑司,相川 慎也
    2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月22日
  • 還元雰囲気中スパッタによるSnO2ターゲットからのSnO製作
    小林 翔,川口 拓真,木菱 完太,相川 慎也
    2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月19日
  • HドープがIn2O3系アモルファス透明導電膜の柔軟性に与える影響
    木菱 完太,山寺 真理,小林 翔,鷹野 一朗,相川 慎也
    2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月19日
  • 溶液プロセスで作製したLaドープIn2O3薄膜トランジスタのCO2ガス感度ドーパント濃度依存
    小林 亮太,野寺 歩夢,相川 慎也
    2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月19日
  • Ar/N2混合ガス中スパッタリングで堆積したSnOx薄膜におけるバルク内N2の評価
    川口 拓真,小林 翔,相川 慎也
    2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月19日
  • CO2ガスセンシング特性に及ぼすInZnO TFTのZn濃度の影響
    野寺 歩夢,小林 亮太,山寺 真理,木菱 完太,小林 翔,相川 慎也
    2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月19日
  • 室温製作されたB-doped In2O3 TFTへのO2 plasma処理
    山寺 真理,木菱 完太,野寺 歩夢,相川 慎也
    2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月19日
  • N2 および Ar/H2 アニールによる SnOx 薄膜の還元状態の比較
    渡辺幸太郎、川口拓真、山口智広、尾沼猛儀、本田徹、相川慎也
    第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月17日
  • Ar/N2混合ガス中スパッタリングで堆積したSnOx薄膜におけるN2濃度の影響
    川口拓真、渡辺幸太郎、永井裕己、山口智広、尾沼猛儀、本田徹、相川慎也
    第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月17日
  • Mist CVD法により成長したα-In2O3薄膜の低キャリア濃度化とMOSFET製作
    田口義士、山寺真理、山本拓実、林佑哉、村山衛、小川広太郎、本田徹、尾沼猛儀、金子健太郎、相川真也、藤田静雄、山口智広
    第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月16日
  • コスパッタ材料としてCaOおよびCaF2を用いたCa添加In2O3 TFTの作製と評価
    野寺 歩夢,森 峻; 相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月17日
  • N2およびAr/H2アニールによるSnOx薄膜の還元状態の比較
    渡辺 幸太郎,川口 拓真,山口 智広,尾沼 猛義,本田 徹,相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月17日
  • Ar/N2混合ガス中スパッタリングで堆積したSnOx薄膜におけるN2濃度の影響
    川口 拓真,渡辺 幸太郎,永井 裕己,山口 智広,尾沼 猛儀,本田 徹,相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月17日
  • Ar/H2雰囲気中でスパッタ成膜したSnO2薄膜の特性評価
    小林 翔,渡辺 幸太郎,川口 拓真,石田 哲也,相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月17日
  • LaドープIn2O3薄膜トランジスタ特性の測定環境依存
    小林 亮太,野寺 歩夢,相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月17日
  • 熱処理不要なIn2O3系TFT実現に向けたBドーピング
    山寺 真理,木菱 完太,野寺 歩夢,熊本 勇紀,森 俊,相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月17日
  • 硫黄蒸気輸送アニールを用いたSnS薄膜の作製と評価
    渡邉 大輝,渡辺 幸太郎,川口 拓真,相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月17日
  • PET基板上に室温スパッタ成膜したBドープIn2O3透明導電膜の酸素分圧最適化
    森 峻,木菱 完太,山寺 真理,野寺 歩夢,渡辺 幸太郎,鷹野 一朗,相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月16日
  • TiOx系ReRAM特性におけるアニール温度の影響
    池田 翔,大沢 遼輝,相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月16日
  • BドープIn2O3透明導電膜への水素ドーピングによる電気特性向上
    木菱 完太,山寺 真理,森 峻,相川 慎也
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月16日
  • Mist CVD法により成長したα-In2O3薄膜の低キャリア濃度化とMOSFET製作
    田口 義士,山寺 真理,山本 拓実,林 佑哉,村山 衛,小川 広太郎,本田 徹,尾沼 猛儀,金子 健太郎,相川 慎也,藤田 静雄,山口 智広
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月16日
  • EB照射および熱処理によるC60ナノワイヤの電気・構造的変化
    村野 海渡,相川 慎也,塚越 一仁
    2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月15日
  • Improvement of mechanical flexibility using completely amorphous B-doped In2O3 transparent conductive thin films
    S. Mori; K. Watanabe; K. Murano; S. Aikawa
    7th International Conference on Advances in Functional Materials (AFM 2022), 2023年01月11日
  • N2 concentration dependence of electrical conduction in partially nitrided SnOx thin-films deposited by reactive RF magnetron sputtering
    T. Kawaguchi; K. Watanabe; S. Aikawa
    7th International Conference on Advances in Functional Materials (AFM 2022), 2023年01月11日
  • CO2 gas sensing using thin-film transistors with co-sputtered In2O3/CaO reactive channel
    A. Nodera; S. Mori; S. Aikawa
    7th International Conference on Advances in Functional Materials (AFM 2022), 2023年01月10日
  • Hole generation mechanism in n-type SnOx after N2 post-deposition annealing
    K. Watanabe; T. Kawaguchi; A. Nodera; Y. Kumamoto; S. Mori; S. Aikawa
    7th International Conference on Advances in Functional Materials (AFM 2022), 2023年01月10日
  • CO2 Gas Sensing by In2O3-Based Thin-Film Transistors
    A. Nodera; S. Mori; S. Aikawa
    The 21st International Symposium on Advanced Technology (ISAT-21), 2022年11月25日
  • Partial reduction of weakly-bonded oxygen in SnOx thin films by dissociated nitrogen atoms
    K. Watanabe; T. Kawaguchi; S. Aikawa
    The 21st International Symposium on Advanced Technology (ISAT-21), 2022年11月25日
  • Room-temperature deposited flexible B-doped In2O3 transparent conductive film
    S. Mori; K. Kibishi; S. Yamadera; A. Nodera; K. Watanabe; I. Takano; S. Aikawa
    The 21st International Symposium on Advanced Technology (ISAT-21), 2022年11月25日
  • XPS analysis of the binding states in nitrogen-doped SnOx thin-films deposited by RF magnetron sputtering in N2 atmosphere
    T. Kawaguchi; K. Watanabe; S. Aikawa
    The 21st International Symposium on Advanced Technology (ISAT-21), 2022年11月25日
  • Deposition of nitrogen-doped titanium dioxide thin films via rf magnetron sputtering
    M. Martinez; T. Onuma; H. Nagai; T. Honda; S. Aikawa; T. Yamaguchi; M. Vasquez Jr.
    The 21st International Symposium on Advanced Technology (ISAT-21), 2022年11月25日
  • Comparative study of room-temperature deposited ITO and B-doped In2O3 on PET for flexible transparent electrode application
    S. Mori; K. Kibishi; S. Yamadera; A. Nodera; K. Watanabe; I. Takano; S. Aikawa
    35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022), 2022年11月10日
  • Optimization of N2 concentration in Ar/N2 sputtering deposition for p-type N-doped SnOx thin-film
    T. Kawaguchi; K. Watanabe; T. Yamaguchi; T. Onuma; T. Honda; S. Aikawa
    35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022), 2022年11月10日
  • Experimental investigation of the local bonding states of nitrogen-doped SnOx thin-film
    K. Watanabe; T. Kawaguchi; T. Yamaguchi; T. Onuma; T. Honda; S. Aikawa
    35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022), 2022年11月10日
  • Crystal-plane dependence of CO2 sensitivity on In2O3-based thin-film transistors
    A. Nodera; S. Mori; S. Aikawa
    35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022), 2022年11月10日
  • Indium oxide-based thin film transistor with high CO2 sensitive (400) plane
    A. Nodera; S. Mori; S. Aikawa
    2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2022), 2022年09月28日
  • Nitrogen incorporation in SnO2 matrix for passivation of oxygen vacancy and hole generation
    K. Watanabe; T. Kawaguchi; S. Aikawa
    2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2022), 2022年09月28日
  • Room-temperature processable highly amorphous transparent B-doped In2O3 for use as a flexible conductive film
    S. Mori; A. Nodera; K. Watanabe; K. Murano; S. Aikawa
    2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2022), 2022年09月27日
  • 窒素アニール還元反応によるSnOx薄膜の局所結合状態
    渡辺幸太郎、川口拓真、山口智広、尾沼猛義、本田徹、相川慎也
    第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月21日
  • Ar/N2混合雰囲気でスパッタ成膜した部分窒化SnOx­­­の特性評価
    川口拓真、渡辺幸太郎、山口智広、尾沼猛儀、本田徹、相川慎也
    第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月21日
  • In2O3結晶相転移によるTFT型CO2ガスセンサーの特性向上
    野寺 歩夢,森 峻,永井 裕己,相川 慎也
    2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月23日
  • Ar/N2混合雰囲気でスパッタ成膜した部分窒化SnOxの特性評価
    川口 拓真,渡辺 幸太郎,山口 智広,尾沼 猛儀,本田 徹,相川 慎也
    2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月21日
  • 窒素アニール還元反応によるSnOx薄膜の局所結合状態
    渡辺 幸太郎,川口 拓真,山口 智広,尾沼 猛義,本田 徹,相川 慎也
    2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月21日
  • PET基板上に成膜したITOおよびBドープIn2O3のフレキシブル透明導電膜としての特性比較
    森 峻,木菱 完太; 山寺 真理; 野寺 歩夢; 渡辺 幸太郎,鷹野 一朗; 相川 慎也
    2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月20日
  • ZrOx系ReRAMにおける電極界面へのSiOx層挿入効果
    當山 啓斗,秋山 竜介,結城 賢采,塚越 一仁,相川 慎也
    2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月25日
  • In2O3系TFTを用いたCO2ガス検知
    野寺 歩夢,森 峻,大榮 海斗,相川 慎也
    2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月23日
  • 窒素雰囲気スパッタリングおよびアニールしたSnOx薄膜の部分的窒化の影響
    川口 拓真,渡辺 幸太郎,相川 慎也
    2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月23日
  • p型窒素ドープSnOxにおけるホール生成の起源
    渡辺 幸太郎,川口 拓真,一関 夢希也,相川 慎也
    2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月23日
  • アモルファスBドープIn2O3透明導電膜における機械的柔軟性の膜厚依存
    森 峻,一関 夢希也,渡辺 幸太郎,大榮 海斗,相川 慎也
    2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月23日
  • Hole移動度向上に向けたSnOx薄膜上へのCYTOP塗布
    熊本 勇紀,渡辺 幸太郎,相川 慎也
    2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月23日
  • In2O3:CaF2透明導電膜の結晶構造および結合状態解析
    大榮 海斗,野寺 歩夢,森 峻,渡辺 幸太郎,相川 慎也
    2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月23日
  • 低蛍光強度の透明導電膜の形成
    守護 理高,清水 麻希,土方 泰斗,相川 慎也,森 峻
    2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月23日
  • p-type conversion of n-type SnOx thin-films by post-deposition N2 annealing
    K. Watanabe; T. Kawaguchi; N. Wakabayashi; T. Yamaguchi; T. Onuma; T. Honda; S. Aikawa
    Material Research Meeting 2021 (MRM2021), 2021年12月14日
  • Remarkable mechanical flexibility of intentionally strain-induced amorphous B-doped In2O3 transparent conductive film
    S. Mori; Y. Ichinoseki; K. Watanabe; K. Murano; K. Oe; S. Aikawa
    The 20th International Symposium on Advanced Technology (ISAT-20), 2021年11月23日
  • Trade-off relation of F concentration in CaF2 co-sputtered In2O3-based transparent conductive film
    K. Oe; S. Mori; K. Watanabe; S. Aikawa
    The 20th International Symposium on Advanced Technology (ISAT-20), 2021年11月23日
  • p-type behavior of lattice-expanded SnOx by post-deposition N2 annealing
    K. Watanabe; T. Kawaguchi; S. Aikawa
    The 20th International Symposium on Advanced Technology (ISAT-20), 2021年11月23日
  • Understanding the switching mechanism of stacked ZrO2-based ReRAM by insertion of SiOx thin layer at the electrode interfaces
    K. Toyama; R. Akiyama; K. Yuki; S. Aikawa
    The 20th International Symposium on Advanced Technology (ISAT-20), 2021年11月23日
  • 歪み導入したアモルファスBドープIn2O3透明導電膜の機械的柔軟性
    森 峻,一関 夢希也,渡辺 幸太郎,村野 海渡,大榮 海斗,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2021年11月18日
  • 反応性スパッタにより作製したn型SnOx薄膜へのN2アニールによる結合状態と電気特性への影響
    渡辺 幸太郎,川口 拓真,山口 智広,尾沼 猛義,本田 徹,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2021年11月18日
  • CaF2とコスパッタ成膜したIn2O3透明導電薄膜の光学的および電気的特性評価
    大榮 海斗,森 峻,渡辺 幸太郎,相川 慎也
    電気学会 電子材料研究会, 2021年11月18日
  • Role of Ca in CaF2 incorporated In2O3 transparent conductive films
    K. Oe; S. Mori; K. Watanabe; H. Nagai; T. Yamaguchi; T. Onuma; T. Honda; S. Aikawa
    34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021), 2021年10月29日
  • Demonstration of flexible transparent conductive film using B-doped In2O3
    S. Mori; Y. Ichinoseki; K. Watanabe; K. Murano; K. Oe; H. Nagai; T. Yamaguchi; T. Onuma; T. Honda; S. Aikawa
    34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021), 2021年10月29日
  • Improvement of noble metal-free ReRAM characteristics by insertion of thin SiOx layer at the ZrOx/electrode interfaces
    K. Toyama; R. Akiyama; K. Yuki; S. Aikawa
    34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021), 2021年10月26日
  • Charge transfer and conduction type conversion in n-type SnO2 thin films by nitrogen annealing
    K. Watanabe; T. Kawaguchi; T. Yamaguchi; T. Onuma; T. Honda; S. Aikawa
    34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021), 2021年10月26日
  • CaF2ドープIn2O3透明導電膜における表面ラフネスおよび導電率のドーパント濃度依存性
    大榮 海斗,森 峻,渡辺 幸太郎,永井 裕己,山口 智広,尾沼 猛儀,本田 徹,相川 慎也
    2021年 第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021年09月12日
  • BドープIn2O3透明導電膜における微量不純物濃度での移動度向上
    森 峻,一関 夢希也,渡辺 幸太郎,大榮 海斗,永井 裕己,山口 智広,尾沼 猛儀,本田 徹,相川 慎也
    2021年 第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021年09月12日
  • 窒素アニールによるn型SnO2薄膜の電荷移動と伝導型変換
    渡辺 幸太郎,川口 拓真,山口 智広,尾沼 猛義,本田 徹,相川 慎也
    2021年 第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021年09月12日
  • Post-deposition N2 annealing of n-type SnOx thin-films for carrier-type conversion
    K. Watanabe; S. Aikawa
    2021 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2021), 2021年09月07日
  • 窒素アニールによるn型SnOx薄膜の伝導型変換
    渡辺 幸太郎,川口 拓真,若林 那旺,山口 智広,尾沼 猛儀,本田 徹,相川 慎也
    日本セラミックス協会 第34回秋季シンポジウム, 2021年09月03日
  • CaF2ドープ In2O3透明導電膜におけるCaとFの効果
    大榮 海斗,渡辺 幸太郎,永井 裕己,山口 智広,尾沼 猛儀,本田 徹,相川 慎也
    日本セラミックス協会 第34回秋季シンポジウム, 2021年09月03日
  • BドープIn2O3透明導電膜におけるドーパント濃度の依存性
    森 峻,渡辺 幸太郎,大榮 海斗,山口 智広,尾沼 猛儀,本田 徹,相川 慎也
    日本セラミックス協会 第34回秋季シンポジウム, 2021年09月02日
  • SiOx層挿入によるZrOx系ReRAMの動作サイクル改善
    當山 啓斗,相川 慎也
    2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021年03月19日
  • In2O3系透明導電膜におけるFの有効ドーピング濃度
    大榮 海斗,相川 慎也
    2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021年03月19日
  • 高性能p型SnO TFTに向けた窒素アニール条件の検討
    渡辺 幸太郎,相川 慎也
    2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021年03月17日
  • PET基板上ITO透明導電膜へのストレス印加による電気的・形態的変化
    村野 海渡,相川 慎也
    2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021年03月17日
  • ホウ素ドープ酸化インジウム透明導電膜に対するアニール条件の比較
    森 峻,相川 慎也
    2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021年03月17日
  • In2O3 TFTバックチャネルへの絶縁膜溶液塗布の影響
    熊本 勇紀,相川 慎也
    2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021年03月17日
  • Enhancement of electrical stability of ZrOx-based ReRAM by insertion of SiOx interlayers
    K. Toyama; D. Naniwa; S. Aikawa
    MANA International Symposium 2021, 2021年03月02日
  • Optimization of fluorine concentration in In2O3 transparent conductive film
    K. Oe; S. Aikawa
    MANA International Symposium 2021, 2021年03月02日
  • Si-based Schottky barrier solar cells using boron incorporated In2O3 transparent electrode
    S. Aikawa; Y. Shibata; Y. Morinaga
    21st International Union of Materials Research Societies- International Conference in Asia (IUMRS-ICA 2020), 2021年02月26日
  • Electrical characterization of ReRAM using ZrOx/SiOx resistive switching layer
    K. Toyama; S. Aikawa
    21st International Union of Materials Research Societies- International Conference in Asia (IUMRS-ICA 2020), 2021年02月25日
  • Fabrication and characterization of In2O3 transparent conductive films co-sputtered with CaF2
    K. Oe; S. Aikawa
    21st International Union of Materials Research Societies- International Conference in Asia (IUMRS-ICA 2020), 2021年02月25日
  • Electrical characterization of Zr-based ReRAM with a sandwiched resistive switching layer
    K. Toyama; D. Naniwa; S. Aikawa
    The 19th International Symposium on Advanced Technology (ISAT-19), 2021年01月14日
  • Fluorine concentration dependence on electrical and optical properties of In2O3 transparent film
    K. Oe; S. Aikawa
    The 19th International Symposium on Advanced Technology (ISAT-19), 2021年01月14日
  • Comparative characterization of Si Schottky solar cells using B‐doped In2O3 and ITO transparent electrodes
    S. Aikawa; Y. Shibata; Y. Morinaga
    33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020), 2020年11月09日
  • Investigation of CaF2 doping on electrical and optical properties of In2O3 transparent conductive film
    K. Oe; S. Aikawa
    33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020), 2020年11月09日
  • Influence of SiOx interlayer on electrical properties of noble metal-free ZrOx-based resistive switching memory devices
    K. Toyama; D. Naniwa; S. Aikawa
    33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2020), 2020年11月09日
  • B-doped In2O3 Transparent Electrode for Si-based Schottky Barrier Solar Cell Application
    S. Aikawa; Y. Shibata; Y. Morinaga
    IEEE NANO 2020: the 20th IEEE International Conference on Nanotechnology, 2020年07月30日
  • 修飾ゲート絶縁膜表面の濡れ性がアモルファスIn2O3TFTの電気的特性に及ぼす影響
    佐々木 啓介,中村 圭佑,相川 慎也
    2020年 第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月15日
  • CaF2をコスパッタした酸化インジウム透明導電膜の作製と評価
    大榮 海斗,相川 慎也
    2020年 第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月15日
  • ZrOx/SiOx二層抵抗変化層を用いたReRAMの電気特性評価
    當山 啓斗,相川 慎也
    2020年 第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月13日
  • Light-isolation of micro-LED pixels integrated in Si micro-cup substrate
    K. Sato; Y. Kamei; R. Nawa; S. Aikawa; Y. Ushida; T. Onuma; T. Yamaguchi; T. Honda
    The 9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS2019), 2019年11月11日
  • Hydrophobic Fluoropolymer Interlayer between In2O3 Semiconductor and SiO2 Gate Insulator for Improvement of Thin-Film Transistor Performance
    K. Sasaki; K. Nakamura; Y. Shibata; S. Aikawa
    32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2019), 2019年10月31日
  • Investigation of measurement environmental sensitivity in amorphous indium oxide-based thin-film transistors
    K. Nakamura; K. Sasaki; Y. Shibata; K. Oe; S. Aikawa
    32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2019), 2019年10月29日
  • Electrical properties of In2O3 thin-film transistors under vacuum and inert environments
    K. Nakamura; K. Sasaki; Y. Shibata; K. Oe; S. Aikawa
    AVS 66th International Symposium & Exhibition, 2019年10月24日
  • Fabrication of LED pixels of 16 x 16 array structure using Si micro-cup substrate
    K. Sato; Y. Kamei; R. Nawa; S. Aikawa; Y. Ushida; T. Onuma; T. Yamaguchi; T. Honda
    The 13th International Conference on Nitride Semiconductors 2019 (ICNS-13), 2019年07月09日
  • Fabrication of micro-LED display of 16 x 16 array structure using Si micro-cup substrate
    K. Sato; Y. Kamei; R. Nawa; S. Aikawa; Y. Ushida; T. Onuma; T. Yamaguchi; T. Honda
    The 7th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications (LEDIA'19), 2019年04月24日
  • TFT素子安定化に向けたアモルファスInSiO薄膜
    相川 慎也
    電気学会調査専門委員会, 2018年03月30日, [招待有り]
  • Fabrication of TFT using amorphous In2O3 thin film by mist CVD
    T. Kobayashi; K. Sawamoto; S. Aikawa; T. Yamaguchi; T. Onuma; T. Honda
    The 16th International Symposium on Advanced Technology (ISAT-16), 2017年11月01日
  • Si-Incorporated Amorphous Indium Oxide-Based Thin-Film Transistors for Stable Operation
    S. Aikawa
    BIT’s 7th Annual World Congress of Nano Science & Technology – 2017, 2017年10月24日, [招待有り]
  • 急峻なサブスレッショルドスロープを持つALD-AlOxゲート絶縁膜アモルファスInSiO TFT
    相川 慎也,木津 たきお,生田目 俊秀,塚越 一仁
    2017年 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年09月07日
  • ALDで形成した薄膜InOx高移動度TFT
    木津 たきお,相川 慎也,池田 幸弘,上野 啓司,生田目 俊秀,塚越 一仁
    2017年 第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年09月07日
  • Unipolar n-type conversion of carbon nanotube field-effect transistors passivated by positively charged polymer
    S. Aikawa
    IUMRS-ICAM 2017: The 15th International Conference on Advanced Materials, 2017年08月30日, [招待有り]
  • 酸化物透明導電膜およびアモルファス酸化物TFTに向けた実用材料開発
    相川 慎也
    テクノトランスファーinかわさき 2017, 2017年07月13日
  • Incorporation of high bond-dissociation energy dopants for low-temperature processable stable InOx-based thin-film transistors
    S. Aikawa
    CCMR 2017: Collaborative Conference on Materials Research 2017, 2017年06月29日, [招待有り]
  • 逆電解処理によるGaAsナノワイヤTFTの移動度向上
    相川 慎也,山田 航平,橋本 英樹,阿相 英孝,小野 幸子
    2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016年09月14日
  • Hydrogen Exposure Effects on Anodically Etched GaAs Nanowires in Liquid Electrolyte
    S. Aikawa; K. Yamada; H. Hashimoto; H. Asoh; S. Ono
    IEEE NANO 2016: 16th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY, 2016年08月23日
  • Mist-CVD-Grown Crystalline In2O3 Thin-Film Transistors with Low Off-State Current
    S. Aikawa; K. Tanuma; T. Kobayashi; T. Yamaguchi; T. Onuma; T. Honda
    The 18th International Conference on Crystal Growth and Epitaxy (ICCGE-18), 2016年08月11日
  • 製造プロセスに鈍感な新元素構成アモルファス酸化物薄膜トランジスタ
    機能性材料の開発と高効率リサイクル技術, 2016年07月12日, 公益財団法人 りそな中小企業振興財団
  • アノードエッチングにより作製したGaAsナノワイヤの電気特性に対する湿式水素曝露効果
    山田 航平,相川 慎也,橋本 英樹,阿相 英孝,小野 幸子
    2016年 第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月20日
  • 二層InSiO薄膜トランジスタの水素還元とオゾン酸化効果
    木津 たきお,相川 慎也,生田目 俊秀,塚越 一仁
    2016年 第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月19日
  • Electrical and Structural Characterization of Anodically Etched GaAs Nanowires Towards Functional Electronic Devices
    S. Aikawa; K.Yamada; H. Asoh; H. Hashimoto; Y.-I. Kim; E. Nishikawa; S. Ono
    28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015), 2015年11月12日
  • Low-temperature Processable Amorphous In-W-O Thin-film Transistors
    T. Kizu; S. Aikawa; N. Mitoma; M. Shimizu; X. Gao; M-F. Lin; T. Nabatame; K. Tsukagoshi
    The 9th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-9) & The 9th Symposium on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9), 2015年10月20日
  • アノードエッチングで作製したGaAsナノワイヤの電気伝導特性
    山田航平,相川慎也,阿相英孝,小野幸子
    第5回CSJ化学フェスタ, 2015年10月15日
  • 二層InSiO構造を用いた薄膜トランジスタ
    木津たきお,相川慎也,生田目俊秀,塚越一仁
    2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年09月15日
  • 過剰酸素の抑制による真空環境で安定なIn-Si-O TFT
    相川慎也,三苫伸彦,木津たきお,生田目俊秀,塚越一仁
    2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年09月13日
  • アノードエッチングで作製したGaAsナノワイヤの表面構造と物性評価
    山田航平,相川慎也,阿相英孝,橋本英樹,小野幸子
    2015年電気化学秋季大会, 2015年09月12日
  • アモルファス酸化インジウム薄膜トランジスタにおける電荷密度および移動度の添加元素依存性
    三苫伸彦,相川慎也,欧陽威,高旭,木津たきお,林孟芳,藤原明比古,生田目俊秀,塚越一仁
    2015年 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月11日
  • 低温プロセスで高移動度かつ高安定なa-InWO TFT
    木津たきお,相川慎也,三苫伸彦,清水麻希,高旭,林孟芳,生田目俊秀,塚越一仁
    2014年 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年09月18日
  • シリコン添加により制御された酸化インジウム薄膜トランジスタ
    三苫伸彦,相川慎也,高旭,木津たきお,清水麻希,林孟芳,生田目俊秀,塚越一仁
    2014年 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年09月18日
  • Influence of electrical properties for IGZO TFT with Al2O3 gate insulators by PE-ALD method
    K. Kurishima; T. Nabatame; M. Shimizu; S. Aikawa; K. Tsukagoshi; A. Ohi; T. Chikyo; A. Ogura
    14th International Conference on Atomic Layer Deposition 2014 (ALD 2014), 2014年06月17日
  • Fabrication and Characterization of Nitrogen-Induced Single-Walled Carbon Nanotubes Field-Effect Transistors
    S. Kim; T. Thurakitseree; S. Aikawa; T. Inoue; S. Chiashi; S. Maruyama
    The Fifteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes, 2014年06月04日
  • Influence of Al2O3 Gate Dielectric on Transistor Properties for Igzo Thin Film Transistor
    Kazunori Kurishima; Toshihide Nabatame; Maki Shimizu; Shinya Aikawa; Kazuhito Tsukagoshi; Akihiko Ohi; Toyohiro Chikyow; Atsushi Ogura
    225th ECS Meeting, 2014年05月14日
  • PE-ALD法で作製したAl2O3絶縁膜を用いたIGZO-TFTの電気特性
    栗島一徳,生田目俊秀,清水麻希,相川慎也,塚越一仁,大井暁彦,知京豊裕,小椋厚志
    2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年03月19日
  • PE-ALD法で作製したAl2O3絶縁膜を用いたIGZO-TFTの電気特性の変化
    栗島一徳,生田目俊秀,清水麻希,相川慎也,塚越一仁,大井暁彦,知京豊裕,小椋厚志
    第19回 ゲートスタック研究会, 2014年01月24日
  • Transport characteristics for nitrogen-doped horizontally aligned single-walled carbon nanotubes
    Sungjin Kim; Theerapol Thurakitseree; Shinya Aikawa; Taiki Inoue; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    4th A3 Symposium on Emerging Materials: Nanomaterials for Energy and Electronics, 2013年11月13日
  • Highly Stable n-Doped Graphene Field-Effect Transistors via Polyvinyl Alcohol Films
    Sungjin Kim; Pei Zhao; Shinya Aikawa; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    5th International Conferences on Recent Progress in Graphene Research, 2013年09月12日
  • InOx-based metal oxide semiconductors for TFT applications
    S. Aikawa
    Workshop on Molecular Thermal Engineering, 2013年07月05日
  • Fabrication of Flexible Graphene Field-Effect Transistors with Single-Walled Carbon Nanotube Electrodes
    Sungjin Kim; Shinya Aikawa; Pei Zhao; Bo Hou; Erik Einarsson; Shohei Chiash; Shigeo Maruyama
    2012 MRS Fall Meeting, 2012年11月29日
  • Single-walled Carbon Nanotube/Silicon Heterojunction Photovoltaic Cell
    Kehang Cui; Shuichiro Omiya; Pei Zhao; Theerapol Thurakitseree; Shinya Aikawa; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    2012 MRS Fall Meeting, 2012年11月29日
  • Influence of Polymer Coating on Device Properties of Carbon Nanotube Field-Effect Transistors
    Shinya Aikawa; Taiki Inoue; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2012), 2012年09月26日
  • Optimization of Single-Walled Carbon Nanotube/Silicon Heterojunction Solar Cells
    Kehang Cui; Shuichiro Omiya; Pei Zhao; Theerapol Thurakitseree; Taiki Inoue; Shinya Aiwaka; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    2012年秋季 第73回応用物理学会学術講演会, 2012年09月12日
  • 水中アーク放電を用いた金属内包カーボンナノチューブ合成における陰極金属の沸点の影響
    竹腰 健太郎,木津 たきお, 相川 慎也 , 西川 英一
    2012年秋季 第73回応用物理学会学術講演会, 2012年09月11日
  • Development of Carbon Nanotube Flexible Transistors
    第50回理窓博士会学位新取得者記念講演会, 2012年07月28日
  • Tailored Synthesis of Single-walled Carbon Nanotubes for Applications
    Erik Einarsson; Theerapol Thurakitseree; Shinya Aikawa; Christian Kramberger; Shohei Chiashi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    International Conference of Young Researchers on Advanced Materials (ICYRAM 2012), 2012年07月04日
  • Characterization of single-walled carbon nanotubes and graphene-based field-effect transistors
    Sungjin Kim; Shinya Aikawa; Pei Zhao; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    2nd International Symposium on Terahertz Nanoscience, 2012年07月04日
  • CVD synthesis of small-diameter nitrogen-doped single-walled carbon nanotubes using acetonitrile
    Erik Einarsson; Theerapol Thurakitseree; Christian Kramberger; Pei Zhao; Shinya Aikawa; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    Thirteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes, 2012年06月24日
  • Influence of nitrogen incorporation on the diameter of single-walled carbon nanotubes
    Theerapol Thurakitseree; Christian Kramberger; Pei Zhao; Shinya Aikawa; Sivasankaran Harish; Shohei Chiashi; Erik Einarsson; Shigeo Maruyama
    Thirteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes, 2012年06月24日
  • Deformable carbon nanotube transistor using polyvinyl alcohol dielectrics
    S. Aikawa
    International Workshop on Carbon Nanotubes and Graphene, 2012年06月15日
  • Ambipolar Behavior in All-Carbon-Nanotube Field-Effect Transistors by Poly(Vinyl Alcohol) Coating
    Shinya Aikawa; Taiki Inoue; Erik Einarsson; Theerapol Thurakitseree; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    CNTNE2012: International Symposium on Carbon Nanotube Nanoelectronics, 2012年06月12日
  • Characterization of single-walled carbon nanotube and graphene composite devices
    Sungjin Kim; Shinya Aikawa; Pei Zhao; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    CNTNE2012: International Symposium on Carbon Nanotube Nanoelectronics, 2012年06月12日
  • 透明なカーボンナノチューブフレキシブルトランジスタ
    相川 慎也,北畠 旭,Erik Einarsson,Theerapol Thurakitseree,千足 昇平,丸山 茂夫
    第49回日本伝熱シンポジウム, 2012年06月01日
  • Deformable Transparent All-Carbon-Nanotube Transistors
    S. Aikawa
    Aalto-Tokyo International Workshop of Carbon Nanotubes, 2012年03月27日
  • Reducing the diameter of vertically aligned single-walled carbon nanotubes by nitrogen doping: synthesis and spectroscopy study
    Theerapol Thurakitseree; Christian Kramberger; Pei Zhao; Shinya Aikawa; Sivasankaran Harish; Shohei Chiashi; Erik Einarsson; Shigeo Maruyama
    東大超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点シンポジウム, 2012年03月27日
  • 変形可能な透明オールナノチューブトランジスタ
    相川 慎也,エリック エイナルソン,ティーラポン トゥラキットセーリー,千足 昇平,西川 英一,丸山 茂夫
    東大超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点シンポジウム, 2012年03月27日
  • Reducing the diameter of vertically aligned single walled carbon nanotubes by Nitrogen doping: Synthesis and Spectroscopy study
    T. Thurakitseree; C. Kramberger; P. Zhao; S. Aikawa; S. Harish; S. Chiashi; E. Einarsson; S. Maruyama
    26th International Winterschool on Electronic Properties of Novel Materials (IWEPNM 2012), 2012年03月08日
  • as-grown単層CNTを用いた薄膜トランジスタの作製と特性評価
    北畠旭,相川慎也,西村英徳,エリック・エイナルソン,千足昇平,丸山茂夫
    第42回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム, 2012年03月08日
  • アセトニトリルを用いた小径・窒素ドープ単層CNTのCVD合成
    E. エイナルソン,T. テゥーラキットセーリー,C. クランバーガー,趙沛,相川慎也,S. ハリッシュ,千足昇平,丸山茂夫
    第42回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム, 2012年03月06日
  • Toward graphene and single-walled carbon nanotube composite devices
    Sungjin Kim; Shinya Aikawa; Bo Hou; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi; Shigeo Maruyama
    第42回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム, 2012年03月06日
  • Thermal Conductivity of Single-Walled Carbon Nanotube Suspensions in Ethylene Glycol: Experimental Results and Theoretical Limits
    S. Harish; K. Ishikawa; E. Einarsson; S. Aikawa; M. Watanabe; S. Chiashi; J. Shiomi; S. Maruyama
    4th International Symposium on Heat Transfer and Energy Conservation (ISHTEC 2012), 2012年01月07日
  • Increasing the Thermal Conductivity of Fluids by adding Single-Walled Carbon Nanotubes encapsulated in Sodium Deoxycholate
    S. Harish; K. Ishikawa; E. Einarsson; T. Inoue; S. Aikawa; P. Zhao; S. Chiashi; J. Shiomi; S. Maruyama
    7th US-Japan Joint Seminar on Nanoscale Transport Phenomena - Science and Engineering -, 2011年12月12日
  • Simple Synthesis Method for Carbon Nanotubes from Aromatic Compounds by Liquid-Phase Arc Plasma
    Takio Kizu; Kentaro Takekoshi; Shinya Aikawa; Eiichi Nishikawa
    6th International Symposium on Surface Science (ISSS-6), 2011年12月12日
  • One-Step Encapsulation of Metal Particle with High-Melting into Carbon Nanotubes by Pulsed Arc Discharge in Water
    Kentaro Takekoshi; Takio Kizu; Shinya Aikawa; Eiichi Nishikawa
    6th International Symposium on Surface Science (ISSS-6), 2011年12月12日
  • Fabrication of flexible thin film transistors using single-walled carbon nanotubes and graphene
    S.J. Kim; S. Aikawa; B. Hou; E. Einarsson; S. Chiashi; and S. Maruyama
    24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2011), 2011年10月27日
  • Extremely Flexible All-Carbon Nanotube Field-Effect Transistors Without Device Degradation
    Shinya Aikawa; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2011), 2011年10月26日
  • Synthesis of small-diameter single-walled carbon nanotubes from acetonitrile
    Theerapol Thurakitseree; Christian Kramberger; Pei Zhao; Shinya Aikawa; S. Harish; Shohei Chiashi; Erik Einarsson; Shigeo Maruyama
    A3 Symposium of Emerging Materials: Nanomaterials for Energy & Environments, 2011年10月13日
  • Toward the Realization of Narrow Diameter Distribution in As-Grown Single-Walled Carbon Nanotubes
    T. Thurakitseree; C. Kramberger; S. Aikawa; P. Zhao; S. Harish; S. Chiashi; E. Einarsson; S. Maruyama
    TeraNano PIRE Kick-Off Meeting, 2011年10月07日
  • Ambipolar Conversion of Polymer-Coated All Single-Walled Carbon Nanotube Field-Effect Transistors
    Shinya Aikawa; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2011), 2011年09月29日
  • 液中金属間パルスアーク法によるカーボンナノチューブ合成と電極表面の時間変化観察
    木津 たきお,竹腰 健太郎,相川 慎也,西川 英一
    平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会, 2011年09月21日
  • 水中パルスアーク放電による金属内包カーボンナノチューブの一段合成:充填率のパルス幅依存性
    竹腰 健太郎,木津 たきお,相川 慎也,神田 守高,西川 英一
    平成23年電気学会基礎・材料・共通部門大会, 2011年09月21日
  • 変形可能なオールナノチューブ両極性トランジスタ
    相川 慎也,エリック エイナルソン,千足 昇平,丸山 茂夫
    特定領域研究「カーボンナノチューブナノエレクトロニクス 平成23年度 第1回研究会, 2011年09月15日
  • 貼り合わせ法で作製されたオールナノチューブフレキシブルトランジスタの特性評価
    相川 慎也,エリック エイナルソン,千足 昇平,西川 英一,丸山 茂夫
    第41回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム, 2011年09月07日
  • 液中金属間アーク法によるカーボンナノチューブ合成と液中プラズマの発光分析
    木津 たきお,相川 慎也,竹腰 健太郎,西川 英一
    第41回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム, 2011年09月07日
  • 水中パルスアーク放電を用いた金属内包カーボンナノチューブのワンステップ合成
    竹腰 健太郎,木津 たきお,相川 慎也,西川 英一
    第41回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム, 2011年09月07日
  • アセトニトリルからの(6,5)単層カーボンナノチューブの選択的合成
    ティーラポン トゥラキットセーリー,相川 慎也,エリック エイナルソン,趙 沛,千足 昇平,丸山 茂夫
    第41回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム, 2011年09月06日
  • 液中パルスアーク法によるキシレンからのカーボンナノチューブ合成
    木津 たきお,相川 慎也,竹腰 健太郎,西川 英一
    2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011年08月31日
  • 水中パルスアーク放電による金属内包カーボンナノチューブの一段合成
    竹腰 健太郎,木津 たきお, 相川 慎也 , 神田 守高 , 西川 英一
    2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011年08月31日
  • 変形可能なオールカーボンナノチューブ両極性トランジスタ
    相川 慎也,エリック エイナルソン,千足 昇平,西川 英一,丸山 茂夫
    2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011年08月30日
  • Flexible, Transparent, and Metal-Free Single-Walled Carbon Nanotube Field-Effect Transistors
    Shinya Aikawa; Erik Einarsson; Taiki Inoue; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    NT11: International Conference on the Science and Application of Nanotubes, 2011年07月11日
  • 柔軟で透明,金属不要な単層カーボンナノチューブトランジスタ
    相川慎也,エリック・エイナルソン,井ノ上泰輝,千足昇平,塩見淳一郎,西川英一,丸山茂夫
    ナノ学会 第9回大会, 2011年06月03日
  • 極めて柔軟な all-SWNT 電界効果トランジスタ
    相川 慎也,エリック エイナルソン,千足 昇平,塩見 淳一郎,西川 英一,丸山 茂夫
    2011年春季 第58回応用物理学関係連合講演会, 2011年03月26日
  • Effect of catalyst preparation on diameter of single-walled carbon nanotubes synthesized by alcohol CVD
    Theerapol Thurakitseree; Erik Einarsson; Rong Xiang; Shinya Aikawa; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi; Shigeo Maruyama
    APS March Meeting 2011, 2011年03月23日
  • 非常に柔軟なAll-SWNT電界効果トランジスタ
    相川 慎也,エリック エイナルソン,千足 昇平,塩見 淳一郎,西川 英一,丸山 茂夫
    第40回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム, 2011年03月08日
  • Carbon Nanotubes Synthesis in Liquid Xylene by Low-frequency Pulsed Arc Discharge Using Copper Electrodes: An Effect of Current Waveform
    Takio Kizu; Shinya Aikawa; Kentarou Takekoshi; Eiichi Nishikawa
    ISPlasma 2011: 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, 2011年03月07日
  • Highly Flexible All-SWNT Field-Effect Transistors
    Shinya Aikawa; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi; Shigeo Maruyama
    4大学ナノ・マイクロファブリケーション コンソーシアム 拠点形成シンポジウム, 2011年03月04日
  • High-precision localized growth of single-walled carbon nanotubes and its applications
    R. Xiang; S. Aikawa; E. Einarsson; S. Maruyama
    The 2010 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies (Pacifichem), 2010年12月20日
  • Carbon nanotubes synthesis in liquid xylene by low-frequency pulsed arc discharge using metal electrodes
    Takio Kizu; Shinya Aikawa; Masakazu Okabe; Eiichi Nishikawa
    The 2010 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies (Pacifichem), 2010年12月17日
  • Precisely localized synthesis of single-walled carbon nanotubes for applications
    E. Einarsson; S. Aikawa; R. Xiang; S. Chiashi; J. Shiomi; E. Nishikawa; S. Maruyama
    The 2010 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies (Pacifichem), 2010年12月17日
  • 収束電子線照射でスパッタされたニッケル微粒子によるアモルファスカーボン薄膜のグラファイト化
    相川 慎也,木津 たきお,西川 英一
    第37回炭素材料学会, 2010年12月02日
  • One-Step Fabrication of High-Performance All-SWNT Field-Effect Transistors by Patterned Growth Technique
    Shinya Aikawa; Rong Xiang; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Shigeo Maruyama
    A3 Symposium on Emerging Materials : Nanocarbons and Nanowires for Energy, 2010年11月09日
  • Horizontally-alignment growth of single-walled carbon nanotubes on quartz substrates
    Shohei Chiashi; Taiki Inoue; Theerapol Thurakitseree; Shinya Aikawa; Rong Xiang; Junichiro Shiomi; Shigeo Maruyama
    A3 Symposium on Emerging Materials : Nanocarbons and Nanowires for Energy, 2010年11月09日
  • Liquid-based site-selective deposition of catalyst for SWNT growth : Mechanism and applications
    Rong Xiang; Shinya Aikawa; Erik Einarsson; Taiki Inoue; Shohei Chiashi; Zi Kang Tang; Shigeo Maruyama
    A3 Symposium on Emerging Materials : Nanocarbons and Nanowires for Energy, 2010年11月09日
  • 液相アーク放電によるキシレンからのカーボンナノチューブ合成と生成物の突入電流依存性
    木津たきお,竹腰健太郎,相川慎也,西川英一
    2010年 放電学会 年次大会, 2010年11月06日
  • 液中アーク放電法による酸化ナトリウムナノワイヤーの合成
    新井大祐, 木津たきお,相川慎也,西川英一
    2010年 放電学会 年次大会, 2010年11月06日
  • 水中アーク放電を用いたカーボンナノチューブ合成における放電安定化と生成物の評価
    竹腰健太郎,木津たきお,相川慎也,西川英一
    2010年 放電学会 年次大会, 2010年11月06日
  • スクロース溶液中でのアーク放電における生成物の濃度依存
    亀井慶一,相川慎也,木津たきお,西川英一
    2010年 放電学会 年次大会, 2010年11月06日
  • Characterization of field-effect transistors using high-quality as-grown SWNTs from alcohol CVD
    Shinya Aikawa; Rong Xiang; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    AsiaNANO 2010, 2010年11月02日
  • Diameter controlled CVD synthesis of single-walled carbon nanotubes
    Theerapol Thurakitseree; Erik Einarsson; Rong Xiang; Shinya Aikawa; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi; Shigeo Maruyama
    AsiaNANO 2010, 2010年11月01日
  • 単層カーボンナノチューブの直径制御CVD合成
    ティーラポン トゥラキットセーリー,エリック エイナルソン,項榮,相川 慎也,千足 昇平,塩見 淳一郎,丸山 茂夫
    第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010年10月15日
  • Nano-DDSへの応用を考慮した金属内包CNTの合成
    引地優嘉,木津たきお,相川慎也,西川英一
    第8回東京理科大学DDS研究センターシンポジウム, 2010年10月15日
  • 単層CNTのパターン合成による高性能FET簡易作製
    相川 慎也,項 榮,エリック エイナルソン,千足 昇平,塩見 淳一郎,西川 英一,丸山 茂
    第2回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010年10月14日
  • Simple Fabrication Technique for an Array of Field-effect Transistors Using High-quality as-grown Single-walled Carbon Nanotubes from Dip-coated Cat-alyst by Substrate Surface Modification
    Shinya Aikawa; Rong Xiang; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2010), 2010年09月23日
  • 単層カーボンナノチューブの水晶基板上における水平成長メカニズム
    千足昇平,井ノ上泰輝,項榮,相川慎也,塩見淳一郎,丸山茂夫
    2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会, 2010年09月16日
  • 高性能all-SWNT電界効果トランジスタの作製と特性評価
    相川 慎也,項 榮,エリック エイナルソン,千足 昇平,塩見 淳一郎,西川 英一,丸山 茂夫
    第39回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム, 2010年09月07日
  • R面(101)水晶基板上でのSWNT水平配向成長
    千足昇平,井ノ上泰輝,Theerapol Thurakitseree,相川慎也,Xiang Rong,塩見淳一郎,丸山茂夫
    第39回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム, 2010年09月07日
  • Carbon nanotubes synthesis in liquid xylene by low-frequency pulsed arc discharge using metal electrodes: An effect of inrush current
    Takio Kizu; Shinya Aikawa; Kentarou Takekoshi; Eiichi Nishikawa
    The 16th International Conference on Crystal Growth(ICCG-16), 2010年08月12日
  • R面水晶基板上でのカーボンナノチューブの水平配向成長
    千足昇平,井ノ上泰輝,相川慎也,項榮,塩見淳一郎,丸山茂夫
    特定領域研究「カーボンナノチューブナノエレクトロニクス 平成22年度 第1回研究会, 2010年08月02日
  • Characterization of Thin Film Transistor Using As-grown Single-walled Carbon Nanotubes from Dip-coated Catalyst by Patterned Removal of Self-assembled Monolayer
    Shinya Aikawa; Rong Xiang; Erik Einarsson; Asahi Kitabatake; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    Eleventh International Conference on the Science and Application of Nanotubes, 2010年07月01日
  • 基板の表面改質を利用した選択的触媒担持法によるas-grown単層カーボンナノチューブFETの作製と特性評価
    相川 慎也,項 榮,エリック エイナルソン,酒造 正樹,北畠 旭,千足 昇平,塩見 淳一郎,ジャン=ジャック ドロネー,山田 一郎,西川 英一,丸山 茂夫
    ナノ学会 第8回大会, 2010年05月14日
  • Patterned CVD Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes for a Thin-Film Transistor
    Shigeo Maruyama; Rong Xiang; Shinya Aikawa; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi
    2010 MRS Spring Meeting, 2010年04月08日
  • 収束電子線照射で生成されたニッケルナノ粒子によるアモルファスカーボン薄膜のグラファイト化
    相川 慎也,木津 たきお,西川 英一
    2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会, 2010年03月19日
  • 液相アーク放電によるキシレンからのカーボンナノチューブ合成においてアークプラズマの特性が合成物へ与える影響
    木津たきお,相川慎也,西川英一
    2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会, 2010年03月19日
  • 単層カーボンナノチューブのパターン成長法を用いた薄膜トランジスタの作製と特性評価
    相川 慎也,項 榮,エリック エイナルソン,千足 昇平,塩見 淳一郎,西川 英一,丸山 茂夫
    2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会, 2010年03月18日
  • One-step Fabrication of Single-Walled Carbon Nanotubes Thin Film Transistor by Patterned Growth
    Shinya Aikawa; Rong Xiang; Erik Einarsson; Shohei Chiashi; Junichiro Shiomi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    第38回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム, 2010年03月02日
  • 溶液を炭素原子供給源 を炭素原子供給源とする液中アーク放電による,カーボンナノチューブの合成
    木津たきお,相川慎也,松島真,西川英一
    第7回東京理科大学DDS研究センターシンポジウム, 2010年02月03日
  • Graphitization of an Amorphous Carbon Film under Electron Beam Irradiation Catalysed by Metal Particles
    S. Aikawa; T. Kizu; E. Nishikawa
    7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '09, 2009年12月08日
  • Carbon Nanotubes Synthesis in Water by Arc Discharge Using Metal Electrodes
    T. Kizu; S. Aikawa; E. Nishikawa
    7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '09, 2009年12月08日
  • 水中アーク放電法をベースとした金属電極間放電によるスクロース溶液からの多層カーボンナノチューブの合成
    相川慎也,木津たきお,品田俊行,岡部雅一,山口恒,世古繁喜,西川英一
    2009年 放電学会 年次大会, 2009年11月14日
  • 液相アーク放電によるキシレンからのカーボンナノチューブ合成において電極材料が合成物へ与える影響
    木津たきお,相川慎也,西川英一
    2009年 放電学会 年次大会, 2009年11月14日
  • スクロース溶液の濃度を変化させた場合における液中アーク放電の特性とその生成物
    品田俊行,相川慎也,木津たきお,岡部雅一,山口恒,世古繁喜,西川英一
    2009年 放電学会 年次大会, 2009年11月14日
  • Patterned Growth of SWNTs for Facile Fabrication of Field Effect Transistor Device
    Shinya Aikawa; Rong Xiang; Erik Einarsson; Junichiro Shiomi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    The 6th Korea-Japan Symposium on Carbon Nanotube, 2009年10月27日
  • Optimization of catalyst deposition by spin-coating for synthesis of vertically-aligned single-walled carbon nanotube arrays
    Theerapol Thurakitseree; Erik Einarsson; Rong Xiang; Shinya Aikawa; Pei Zhao; Junichiro Shiomi; Shigeo Maruyama
    第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2009年10月15日
  • High Precision Site-selective Growth of SWNTs and its Applications
    Rong Xiang; Shinya Aikawa; Erik Einarsson; Junichiro Shiomi; Shigeo Maruyama
    第37回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム, 2009年09月03日
  • Carbon Nanotubes Synthesis in Liquid Xylene by Arc Discharge Using Metal Electrodes
    T. Kizu; S. Aikawa; E. Nishikawa
    第37回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム, 2009年09月03日
  • Facile Fabrication and characterization of a Field Effect Transistor using As-grown Single-Walled Carbon Nanotubes
    Shinya Aikawa; Rong Xiang; Erik Einarsson; Junichiro Shiomi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    第37回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム, 2009年09月02日
  • Precisely Localized As-grown Single-Walled Carbon Nanotubes for Facile Fabrication of a Field Effect Transistor Device
    Shinya Aikawa; Rong Xiang; Erik Einarsson; Junichiro Shiomi; Eiichi Nishikawa; Shigeo Maruyama
    10th International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT09), 2009年06月25日
  • Carbon nanomaterial synthesis from o-xylene using arc discharge method with copper electrodes
    T. Kizu; Y. Kim; S. Aikawa; E. Nishikawa
    プラズマ科学シンポジウム2009 (PSS-2009) /第26回プラズマプロセシング研究会 (SPP-26), 2009年02月02日
  • 水中アーク放電法による異種電極材料を用いたカーボンナノマテリアルの合成
    木津たきお,西川英一,相川慎也,金 勇一,喜岡俊英
    2008年秋季 第69回応用物理学会秋季学術講演会, 2008年09月02日
  • スクロースからのカーボン・ナノマテリアルの合成
    相川 慎也,木津 たきお,西川 英一,喜岡 俊英
    2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会, 2008年03月29日
  • 水中アーク放電法による異種電極材料を用いたカーボンナノマテリアルの合成
    相川慎也,西川英一,清水浩,金勇一,喜岡俊英
    2007年秋季 第68回応用物理学会秋季学術講演会, 2007年09月05日

Works(作品等)

  • 柔軟・室温形成可能な従来材料よりも透明な導電薄膜
    2021年08月 - 2021年09月, その他
  • 移動度と動作安定性を同時に向上させた2層薄膜トランジスタ
    2019年08月 - 2019年08月, その他
  • 現行プロセスに完全コンパチブルな新開発透明導電膜
    2018年08月 - 2018年08月, その他
  • 既存材料ITOを凌駕する超透明な酸化物導電膜
    2017年10月 - 2017年10月, その他
  • 既存材料ITOを凌駕する超透明な酸化物導電膜
    2017年08月 - 2017年09月, その他
  • 酸化物透明導電膜およびアモルファス酸化物TFTに向けた実用材料開発
    2017年07月 - 2017年07月, その他
  • 有機ELディスプレイの高効率化に貢献できる高仕事関数を有する透明導電膜
    2016年08月 - 2016年08月, その他
  • 製造条件に左右されない高安定なアモルファス酸化薄膜トランジスタ
    2015年08月 - 2015年08月, その他

産業財産権

  • 特願2020-030951, 透明導電膜の形成方法、透明導電膜、導電膜付基板、及びタッチパネル
    相川 慎也,大榮 海斗
  • 特許登録第6440169号, 特願2015-508772, 有機EL素子及びその製造方法
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也
  • 特許登録第6308583号, 特願2014-016635, 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および半導体装置
    生田目俊秀,相川慎也,木津たきお,清水麻希,三苫伸彦,塚越一仁
  • 特許登録第6296463号, 特願2016-213693, 薄膜トランジスタおよびその製造方法
    生田目 俊秀,塚越 一仁,相川 慎也
  • 特許登録第6273606号, 特願2014-016633, 固定電荷を内部に誘起したゲート絶縁膜
    生田目俊秀,相川慎也,木津たきお,清水麻希,三苫伸彦,塚越一仁
  • 特許登録第6261125号, 特願2014-016630, 酸化物薄膜トランジスタおよびその製造方法
    塚越一仁,相川慎也,木津たきお,清水麻希,三苫伸彦,生田目俊秀
  • 特許登録第6260992号, 特願2014-016634, 薄膜トランジスタおよびその製造方法
    相川慎也,塚越一仁,木津たきお,清水麻希,三苫伸彦,生田目俊秀
  • 特許登録第6252903号, 特願2014-016273, 薄膜トランジスタおよびその製造方法
    塚越一仁,相川慎也,木津たきお,清水麻希,三苫伸彦,生田目俊秀
  • 特許登録第6252904号, 特願2014-016631, 酸化物半導体およびその製法
    相川慎也,塚越一仁,木津たきお,清水麻希,三苫伸彦,生田目俊秀
  • 9825180, 15/248567, THIN-FILM TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
  • 特許登録第6241848号, 特願2014-016632, 薄膜トランジスタの構造、薄膜トランジスタの製造方法および半導体装置
    生田目俊秀,相川慎也,木津たきお,清水麻希,三苫伸彦,塚越一仁
  • 9741864, 14/889919, THIN-FILM TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
  • 特願2017-119702, 透明導電膜、透明導電膜つき透明基板、透明導電膜つき透明基板の製造方法、タッチパネル
    相川 慎也
  • 特許登録第6120386号, 特願2015-515874, 薄膜トランジスタおよびその製造方法
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也,知京豊裕
  • 特願2016-244357, メガネ型装具
    相川 慎也
  • 特願2016-094691, ドーピング方法、導電性構造体の製造方法、繊維状構造の製造方法、及び薄膜トランジスタの製造方法
    相川 慎也,橋本 英樹,阿相 英孝,小野 幸子
  • 特許登録第5846563号, 特願2014-521410, 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および半導体装置
    塚越一仁,ピーターダルマワン,相川慎也,生田目俊秀,柳沢佳一
  • PCT/JP2015/051845, 薄膜トランジスタ、酸化物半導体、およびその製造方法
    塚越一仁,相川慎也,木津たきお,清水麻希,三苫伸彦,生田目俊秀
  • PCT/JP2014/062188, 薄膜トランジスタおよびその製造方法
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也,知京豊裕
  • PCT/JP2014/059190, 有機EL素子及びその製造方法
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也
  • 特願2014-016266, 薄膜トランジスタおよびその製造方法
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也
  • 特願2013-139425, 薄膜トランジスタおよびその製造方法
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也,知京豊裕
  • PCT/JP2013/066384, 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および半導体装置
    塚越一仁,ピーターダルマワン,相川慎也,生田目俊秀,柳沢佳一
  • 10-2014-7012459, 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法および半導体装置
    塚越一仁,ピーターダルマワン,相川慎也,生田目俊秀,柳沢佳一
  • 特願2013-099284, 薄膜トランジスタおよびその製造方法
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也
  • 特願2013-067782, 有機EL素子
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也
  • 特願2013-067801, 有機EL素子及びその製造方法
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也
  • 特願2013-068164, 有機EL素子及びその製造方法
    生田目俊秀,塚越一仁,相川慎也
  • 特願2008-97578, カーボンナノ粒子及びカーボンナノチューブ製造方法
    西川英一,相川慎也,木津たきお,喜岡俊英

受賞

  • 2024年01月
    Fabrication of Tin Oxide/Nitrogen-doped Titanium Dioxide Heterojunction Thin Films
    国際学会・会議・シンポジウム等の賞
  • 2020年10月
    工学院大学, 2020年度ベストティーチャー賞
  • 2013年07月
    理窓博士会第7回学術奨励賞,東京理科大学
  • 2007年03月
    平成18年度学部長賞(東京理科大学工学部第二部),東京理科大学
  • 2006年12月
    東京理科大学創立125周年記念こうよう会懸賞論文奨励賞,東京理科大学

共同研究・競争的資金等の研究課題

他機関の委員歴

  • 2023年07月 - 2025年03月
    エコシステム材料技術調査専門委員会委員, 電気学会
  • 2023年04月 - 2025年03月
    客員研究者, 国立研究開発法人 物質・材料研究機構
  • 2021年04月 - 2023年03月
    エマージングフレキシブルデバイス材料技術調査専門委員会委員, 電気学会
  • 2019年06月 - 2021年05月
    東京支部協議委員, 電気学会
  • 2020年04月 - 2021年03月
    学生発表会ワーキンググループ, 大学コンソーシアム八王子
  • 2020年12月 - 現在
    Nanomaterials’ Reviewer Board, mdpi